C6 cleanroom kabelrups met e-spin geleiding

Geautomatiseerd wafer transport in cleanrooms

In moderne halfgeleiderfabrieken ondergaan siliciumwafers talloze processtappen - van lithografie en etsen tot doperen en metalliseren. Deze processen vinden plaats in verschillende fabrieken, die zich vaak ver van elkaar bevinden. Vanwege de strenge eisen voor reinheid en de afwezigheid van deeltjes is handmatig transport binnen de cleanroom niet mogelijk. In plaats daarvan zorgen geautomatiseerde material-handlingsystemen (AMHS) voor het veilige en efficiënte transport van wafercassettes (FOUP's - front-opening unified pods) over lange afstanden. Een beproefde oplossing is de overhead hoist transport (OHT) - een railgeleid transportsysteem dat de FOUP's overhead verplaatst en optimaal gebruik maakt van de ruimte in de cleanroom.

Naast transport is ook opslag erg belangrijk in zogenaamde stockers. Deze systemen stellen hoge eisen aan de energie- en gegevensvoorziening. Je hebt betrouwbare energievoorzieningssystemen nodig voor: de voeding van de OHT-eenheden, gegevensoverdracht (bijv. Ethernet, sensortechnologie), veilige kabelgeleiding in dynamische en vaak krappe cleanroomomgevingen.